|
Установка глубокого анизотропного плазмохимического травления для создания элементов МЭМС и НЭМС
Установка плазмохимического травления
|
- Тип источника плазмы: плоский ICP
- Генератор: 13,56 МГц, 1 кВт
- Источник смещения: до 400 Вт (13,56 МГц)
- Диаметр пластины: 150, 200 мм
- Рабочие давления: 0,5-50 мТор
- Система подачи газов: 4 канала, 0-200 Sccm
- Газы: F-, Cl- содержащие, O2, H2, Ar
- Плотность плазмы: до 3*1012 см-3
- Температура электронов: < 4 эВ (Ar)
- Неравномерность плазмы: < 2% на ø 200 мм
- Скорость травления: до 6 мкм/мин (Si) и до 0,8 мкм/мин (SiO2)
- Полная автоматизация процесса с управлением от персонального компьютера
|
Плазменное анизотропное травление кремния для изделий микромеханики
 |
 |
Фрагмент микромеханического устройства в сечении и плане кристала |
|
|
|

Международная конференция «Микро- и наноэлектроника»

Симпозиум «Квантовая информатика»

Библиотека ФТИАН
Аспирантура ФТИАН
Документы ФТИАН
05.04.2022 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
П. Б. Можаев (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
Механизмы формирования наклона кристаллографических осей в эпитаксиальных гетероструктурах |
31.03.2022 - 15:00 |  |
Научный семинар «Квантовые компьютеры»
Ю. И. Богданов, Н. А. Богданова, Д. В. Фастовец, В. Ф. Лукичев (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
Исследование свойств когерентности и запутанности макроскопических квантовых интерферирующих альтернатив (конференц-зал ФТИАН) |
01.02.2022 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
А. А. Дедкова (МИЭТ)
Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур (по материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук) |
27.01.2022 - 15:00 |  |
Научный семинар «Квантовые компьютеры»
Чернявский А.Ю., Фастовец Д.В. (ФТИАН им. К.А. Валиева РАН)
Квантовые алгоритмы в эпоху NISQ: обзор и практические аспекты |
25.01.2022 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
Н. А. Симонов (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
Развитие математического аппарата модели пятен для представления и обработки неточной, качественной и смысловой информации |
18.01.2022 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
М. М. Яшин (РТУ МИРЭА)
Оптические свойства фотонных кристаллов и магнитооптические методы исследования наноструктур и элементов электроники (По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук) |
А. Ю. Кирьянов (РТУ МИРЭА)
Методика испытаний твердотельных СВЧ модулей применяемых в радиолокационных станциях с учетом отказов возникающих в начальный период эксплуатации (По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук) |
30.11.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
А. С. Аванесов (МФТИ (НИУ))
Динамика открытых систем в квантовой теории информации с использованием вероятностного представления квантовых состояний. (По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук) |
19.10.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
А. А. Ушков (МФТИ (НИУ))
Усиленное оптическое пропускание в голографических и поликристаллических наноструктурах (По материалам диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Для онлайн участия нужно обратиться к А.В. Мяконьких (miakonkikh@ftian.ru)) |
25.05.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
О.С. Трушин (ЯФ ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
Наноструктурирование при наклонном напылении (Семинар будет транслироваться онлайн. Для записи обращайтесь к А.В. Мяконьких miakonkikh@ftian.ru) |
18.05.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники» (конференц-зал ФТИАН)
А. В. Цуканов и Я.В. Гарев (ФТИАН им. К. А. Валиева РАН)
Спектральные свойства фотонной молекулы на основе одномерной цепочки резонаторов Фабри-Перо с механическим контролем (Семинар будет транслироваться онлайн. Для записи обращайтесь к А.В. Мяконьких miakonkikh@ftian.ru) |
11.03.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Квантовые компьютеры»
А. В. Романова (МГУ)
Характеризация многоканальных линейно-оптических интегральных схем с помощью корреляционных измерений тепловых состояний света (Онлайн семинар Для записи обращайтесь к Юрию Кузнецову yurii.a.kuznetsov@gmail.com) |
25.02.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Квантовые компьютеры»
Бантыш Б.И. (ФТИАН)
Квантовая томография ионных кудитов (Онлайн семинар Для записи обращайтесь к Юрию Кузнецову yurii.a.kuznetsov@gmail.com) |
11.02.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Квантовые компьютеры»
А.Ю. Чернявский (ФТИАН)
Бенчмаркинг методов квантовой томографии (Онлайн семинар Для записи обращайтесь к Юрию Кузнецову yurii.a.kuznetsov@gmail.com) |
04.02.2021 - 15:00 |  |
Научный семинар «Квантовые компьютеры»
Д.В. Фастовец (ФТИАН)
Разложение Шмидта и когерентность интерферирующих альтернатив (Онлайн семинар Для записи обращайтесь к Юрию Кузнецову yurii.a.kuznetsov@gmail.com) |
Архив семинаров
|
| |